来源:《微纳电子技术》2019年第11期  作者:申玮;张文君;廉宇琦;张国军;杨华;薛晨阳;王任鑫;
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高分辨率MEMS纤毛式湍流传感器

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国外的剪切流传感器已经趋于成熟,但仍存在测试信息量单薄、空间分辨率不高和价格昂贵的缺点。提出了一种新型高分辨率微电子机械系统(MEMS)湍流传感器,通过MEMS工艺的微结构实现湍流传感器的高分辨率探测,同时凭借Parylene真空气相沉积技术来实现传感器在海中的绝缘性和抗腐蚀性。经过5~45℃的高低温循环实验,验证了MEMS湍流传感器在复杂环境中的可靠性,并通过实验测量得到电压形式的湍流数据。(本文共计8页)......[继续阅读本文]

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