来源:《稀有金属材料与工程》2011年第04期  作者:李英楠;李凤华;沈悦;樊占国;李成山;卢亚峰;
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MOD法在LaAlO_3单晶上沉积La_(0.4)Sr_(0.6)CoO_3导电缓冲层

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用金属有机物沉积(MOD)法在LaAlO3(100)单晶基底上制备了立方钙钛矿型导电缓冲层La0.4Sr0.6CoO3(LaSrCoO)薄膜。根据热分析曲线确定前驱膜的热处理工艺,其中前驱膜的热分解温度为620~800℃,涂膜的结晶温度为825℃。由X射线衍射(XRD)分析可知,热处理后涂膜的主相是LaSrCoO,其择优取向为<100>;另外还有La2CO5和LaCoO3等杂相。由φ扫描和(100)极图可知,所制备的涂膜有较强双轴织构。用标准四引线法测量了涂膜的室温和低温电阻率,在77K时达到1.04×10-4?·m,实现了沉积导电缓冲层的目的。(本文共计4页)......[继续阅读本文]

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