来源:《科技和产业》2017年第11期  作者:周婧博;
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基于专利分析的极紫外光刻现状研究

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基于极紫外光刻技术相关领域的全球和中国专利数据,从专利申请数量、布局情况、主要申请人等多个方面进行综合性分析,以期对业内机构进行研发工作和政府产业布局有所帮助。(本文共计5页)......[继续阅读本文]

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