来源:《电子科技文摘》2001年第03期  作者:
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可靠性设计、试验与设备

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Y2000-62524-97 0103527表面微加工微电子机械传动装置的可靠性=Reliability of surface micromachined microelectromechanical actua-tors[会,英]/Tanner,D.M.//2000 IEEE Proceedingsof 22nd International Conference on Microelectronics,Vol.1.—97~104(EC)本文对微电子机械系统(MEMS)可靠性的探讨给予了总结,对 MEMS 传动装置的主要可靠性问题进行了分类。对与可靠性相关的静态阻力,机械磨损,断裂,疲劳,冲击及振动进行了讨论。参33(本文共计2页)......[继续阅读本文]

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