来源:《电子科技文摘》2001年第03期  作者:
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电真空器件

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Y2000-62562-37 01036040.10μm 铜应用的新型空心阴极磁控管源=A new hel-low-cathod magnetron source for 0.10μm copper applica-tions[会,英]/Ashtiani,K.A.& Klawuhn,E.//Pro-ceedings of the IEEE 2000 International InterconnectTechnology Conference.—37~39(ZC)Y2000-62569 01036052000年 IEEE 国际真空电子学会议录,摘要=2000IEEE international vacuum electronics conference,ab-stracts[会,英]/IEEE Electron Devices Society.—IEEE,2000.—435P.(EC)本会议录收集了于2000年5月2~4日在美国加州 Monterey 召开的真空电子学会议上发表的182篇(本文共计1页)......[继续阅读本文]

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