来源:《光机电信息》2002年第03期  作者:小平
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工业测量传感器

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LMI公司工业传感器研究部新近推出的SLS7000型镜面反射传感器在1mm测量范围内具有250nm的分辨率和16kHz的采样率(采用一种“快速光控制电路”专利产品),可见激光光斑尺寸为10μm~20μm,允许仿形测量复杂目标结构,诸如细小裂纹和沟槽等。该传感器的内置数字处理器执行测量数据的平均运算,其滤波运算部分放在另一个分离的控制器装置内,并与传感器头用接口连接。该传感器可应用于芯片线路板、母板和半导体器件等的质量检测。(No.48)工业测量传感器@小平(本文共计1页)......[继续阅读本文]

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