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来源:《工科物理》1999年第04期  作者:刘漪,陈萦,刘芬
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X光激发氮氧化铝膜层电子特征能量探测与分析

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本文报告了用X光电子能谱法(XPS)对氮氧化铝/铁膜内层电子特征能量的探测与分析,获得了膜层中不同深度的元素成分及化学结构.结果表明:XPS方法是研究氮氧化铝选择性吸收膜的有效方法.(本文共计3页)......[继续阅读本文]

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