来源:《光通信技术》2019年第12期  作者:赵玉娇;周震;
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离面型双层亚波长光栅微位移传感系统研究

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随着微电子机械系统(MEMS)惯性传感器件对微位移检测精度的要求越来越高,微位移检测技术已经成为惯性传感领域的研究热点,亚波长光栅的出现为微位移测量提供了一个全新的发展前景。以离面型双层亚波长光栅位移传感系统为研究对象,分别研究了亚波长光栅等周期与不等周期时系统的位移传感特性,利用Rsoft软件对2种结构中双光栅相对运动时系统透射率与光栅位移量之间的关系以及系统关键结构参数对位移检测灵敏度的影响规律进行模拟仿真,并对2种双光栅位移传感系统进行了结构优化设计与性能仿真,理论验证了离面型双层亚波长光栅位移传感系统结构的灵活性及方案的可行性。(本文共计6页)......[继续阅读本文]

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