您的位置:杂志 > 《光学学报》 > 1988年 > 第01期
来源:《光学学报》1988年第01期  作者:黄信凡,李联珠,高文琦,叶权书
选择字号

利用硅上倾斜V形槽结构制作闪耀光栅

收藏本文  分享

以偏离〈100〉面25.24°的硅〈113〉晶面为基底,采用氧化、光刻等平面工艺,在其上制成光栅常数为36μm的二氧化硅光栅图形作掩模,用常规的硅各向异性腐蚀,在硅上形成连续倾斜的V形槽结构,制成槽距为36μm波长6328(?)时衍射效率达69%的闪耀光栅,进一步缩小槽距,可望获得实用的闪耀光栅.(本文共计4页)......[继续阅读本文]

下载阅读本文订阅本刊

图书推荐

    相关文章推荐

    看看这些杂志对你有没有帮助...

    更多杂志>>