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来源:《光学学报》2005年第12期  作者:肖凯;刘颖;徐向东;付绍军;
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软X射线相位型聚焦波带片的研制

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软X射线波带片是软X射线光学中聚焦、色散和成像的重要元件。以激光全息离子束刻蚀技术制作金的振幅型软X射线聚焦波带片,以此为掩模,利用接触式同步辐射光刻和离子束刻蚀技术在聚酰亚胺衬底上,分别制作出了镍和锗的软X射线相位型聚焦波带片。(本文共计2页)......[继续阅读本文]

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