来源:《高压物理学报》1997年第01期  作者:顾长志,金曾孙,吕宪义,邹广田,张纪法,方容川
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金刚石膜的厚度及背表面过渡层对热导率的影响

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采用微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)方法制备金刚石膜,研究了金刚石膜的厚度以及生长初期的SiC过渡层对其热导率的影响,给出了膜厚和背表面SiC过渡层减薄厚度与金刚石膜热导率的关系(本文共计5页)......[继续阅读本文]

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