来源:《上海机械学院学报》1989年第04期  作者:张奇生,张仁杰
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运算电容式传感器用于铝氧化膜厚度测试的研究

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本文通过对运算电容式传感器及铝氧化膜厚度测试的实验研究,分析了影响测试精度的主要因素,并给出了校正方法和实用测量模型。(本文共计8页)......[继续阅读本文]

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