来源:《激光与光电子学进展》1999年第S1期  作者:路敦武,黄惠杰
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激光全息用于微电子领域发展潜力的简析

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激光技术已广泛应用于微电子领域大规模集成电路生产的各个环节。本文以激光全息光刻、激光全息掩模和激光干涉成像光刻为切入点,对激光全息用于微电子领域的潜力作一分析。(本文共计4页)......[继续阅读本文]

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