来源:《激光与红外》1982年第03期  作者:培芝;
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HgCdTe系富Te角的液相等温线、固相线和液相外延生长

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采用改进的直接观测法,在425~600℃的温度下确定了HgCdTe三元系富Te角内原始相域的液相等温线。用这些等温线作辅助,确定了在CdTe_(1-y)Se_y衬底上开管液相外延生长Hg_(1-x)Cd_xTe层的条件。在氢气流下用富碲的HgCdTe熔液生长出x值为0.1~0.8的外延层,所用为水平滑块法,该法可防止熔液中汞的蒸发损失。所用生长温度和生长时间分别为450~550℃和0.25~10分钟。生长液的平衡时间在550℃时通常为1小时。使用料源片、过冷熔液和(111)取向的衬底生长出质量极佳的外延层,其厚度在3~15微米之间。用电子微探针分析法测定了外延层的x值,并用所得数据及液相等温线取得了固相线。除电子微探针数据外,还给出了透光率。(本文共计6页)......[继续阅读本文]

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