来源:《微电子学与计算机》1978年第06期  作者:颜学能
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检查探针同芯片接触的有效方法

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本文提出在MOS 集成电路的中测过程中,应用给芯片衬底加电压或脉冲信号的方法,随时可以准确有效地检查探针同芯片引出点的接触情况。还对这方法的适用范围进行了讨论,针对不同情况介绍了实用方案,并指出了在实用中值得注意的细节。(本文共计3页)......[继续阅读本文]

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