来源:《微电子学与计算机》1978年第06期  作者:宋长江
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适用于LSI制造中的国产302负性抗蚀剂性能

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本文主要评价国产302负性抗蚀剂的性能。这种抗蚀剂可对SiO_2、掺磷掺硼SiO_2、Si_3N_4、Al等表面有较好的粘附,以及具有0.25针孔/mm~2的针孔率,并可对0.5微米线条进行分辨。文中还评述了其应用状况。(本文共计9页)......[继续阅读本文]

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