来源:《机械工艺师》1997年第01期  作者:吴敏镜
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超精密加工向毫微米级精度发展

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超精密加工是精加工的重要手段,当前正在向毫微米级(即纳米级,nm)精度迈进。英国将毫微米技术给定100~0.1nm,说明超精密加工正在延伸。超精密加工技术是标志一个先进工业国家机械加工水平的技术。我国机械工业“九五”规划中,已将其列为关键技术之一,1995年起又建立精密和超精密加工技术国家重点实验室,挂靠在航空工业总公司303所。一、超精密机床稳步发展超精密加工最关键的硬件是超精密机床,而今其技术已成熟,在美国、日本、英国等均已商品化。即使在我国,也相继研制成功不少超精密机床,如CJT—1型超精密镗床,其主轴精度为0.05μm;CJC—1型超精密车床,其主轴精度为0.05μm,导轨直线性为0.1μm/100mm,加工圆度为0.047~0.077μm,表面粗糙度Ra0.01~0.0μ2m。为超精密加工配套的金刚石刀具研磨机,可刃磨至金刚石刃口半径ρ为0.05μm,表面粗糙度Ra0.01~0.005μm。值得推荐的是303所研制的测量型SZC—J866三坐标测量机,是我国超精密装备制造上的又一次重大突破,特别是三维模拟测量头系统的研制成功,成为世界上第二个掌握这种测头制造技术的科研机构。国(本文共计3页)......[继续阅读本文]

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