来源:《现代制造工程》2013年第04期  作者:李敏;张玉冰;李东升;
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气膜介电常数与供气压力的相关性实验研究

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基于电容法测量气体静压导轨气膜厚度的原理,进行供气压力与气膜介电常数相关性的研究。实验结果表明,环境条件不变的情况下,供气压力范围在0.1~0.48MPa之间,气膜介电常数与供气压力呈显著负相关并符合4阶多项式关系,拟合决定系数R2均大于0.94,该结果为气体静压导轨气膜精准电容模型的建立提供了依据。(本文共计4页)......[继续阅读本文]

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