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来源:《真空》2017年第05期  作者:梁家伟;韩逸山;庄素娜;劳珏斌;林伟轩;简玮;王江涌;
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辉光放电发射光谱在材料成分-深度分析中的应用

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本文首先对辉光放电发射光谱(Glow Discharge Optical Emission Spectrometry-GDOES)基本原理做了简单评述,重点说明了对测量的材料成分-深度实验数据的定量分析。随后介绍了GDOES在材料表面、薄膜和涂层等领域的应用。最后给出了利用MRI模型对GDOES深度剖析数据定量分析的实例。(本文共计8页)......[继续阅读本文]

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