您的位置:杂志 > 《真空》 > 2019年 > 第06期
来源:《真空》2019年第06期  作者:邢银龙;吴杰峰;刘志宏;李波;周能涛;
选择字号

316LN异型真空盒超高真空表面处理工艺的研究

收藏本文  分享

第三代同步辐射光源在不同位置需要设计不同形状的真空腔体保证电子束在超高真空(<1.3×10-8Pa)环境下运行。其中异型真空腔体作为第三代同步辐射装置的关键部件之一其制造过程中非常关键问题就是材料的表面处理。然而,针对316LN异型真空盒超高真空的表面处理工艺国内外还没有公开的发表过,对于316LN异型真空盒超高真空的表面处理工艺的研究工作也鲜有报道。因此,本文针对316LN异型真空盒超高真空表面处理工艺提出合理的工艺方案,针对316LN异型真空盒的表面处理工艺设计并组建一套完整的四极质谱残余气体检测分析系统,为316LN异型真空盒超高真空表明处理的研究提供理论依据。(本文共计3页)......[继续阅读本文]

下载阅读本文订阅本刊

图书推荐

    相关文章推荐

    看看这些杂志对你有没有帮助...

    更多杂志>>