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来源:《真空》2019年第06期  作者:丁孙安;杨辉;
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纳米真空互联大装置(Nano-X)及其应用进展

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进入纳米时代后,纳米材料与纳米器件的性能不只取决于块体材料的性质,而更主要是由材料的表、界面性质来决定。为了避免由于表面污染而造成的改变与损伤,薄膜材料通常需要放置于超高真空环境中。本文介绍了纳米真空互联大装置的必要性、功能,以及支持项目和取得的重要进展。(本文共计4页)......[继续阅读本文]

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