来源:《科技创新与应用》2019年第14期  作者:张克;李都宁;毛力奋;蒋光南;王普勇;原力;
选择字号

一种用于光机热耦合过程中的非线性曲率拟合算法

收藏本文  分享

在光机热耦合过程中,核心思想是如何把变形或光程差转化新的光学面型,一般习惯上用多项式的形式。文章提出一种算法可以使计算RMS达到10-13,计算精度可以达到10~(-16),实际案例中最大位移误差可以减少2个量级,从而最大位移量由116nm,下降到1nm左右。(本文共计2页)......[继续阅读本文]

下载阅读本文订阅本刊

图书推荐

    相关文章推荐

    看看这些杂志对你有没有帮助...

    更多杂志>>