来源:《电子工业专用设备》1994年第02期  作者:谢中生
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我国半导体设备发展现状及前景展望

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本文扼要介绍了我国半导体设备发展现状,对“九五”期间的发展进行了预测。同时,通过对日本发展微电子技术和设备的分析,为发展我国半导体设备提出了建设性意见。(本文共计7页)......[继续阅读本文]

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