来源:《电子工业专用设备》1994年第02期  作者:张俊国,刘求益
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电子束直接光刻设备概况及发展对策

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本文扼要介绍了电子束直接光刻设备国外概况与国内现状,指出了国内在这一领域的主要差距,并为我国发展该设备提出了建议。(本文共计4页)......[继续阅读本文]

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