来源:《电子产品世界》2002年第05期  作者:
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欧洲MEMS工业一瞥

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欧洲处在微机电系统(MEMS)工业的最前沿,有大约 100家工厂,MEMS 设备工业也在日益成熟。共有从业人员4000多人,2000年的销售额总数达 10亿美元,每年处理的圆片超过50万片。而其基础设施的生产能力为80万等效4英寸圆片。一半的欧洲MEMS公司处理100mm圆片,但是有升级到150mm(25%是处理150mm圆片)的趋势,并且有 3项 MEMS设备工程将处理200mm圆片。MEMS正在作为欧洲的新兴工业出现,每年的销售额达到10亿美元。然而, 必须克服封装和测试的挑战,并且需要更好地获取生产设备。MEMS工业链MEMS的生产设备的生产日益活跃,如:双面掩模对准机(电子视觉公司,Electronic Visions),深反应离子刻蚀(Alcatel,STS公司),X射线和紫外线光刻(卡尔·苏斯公司,Karl Suss),热凸刻(电子视觉公司,Jenoptik公司),微注入塑模(Kraussmaffei公司),圆片压焊机(电子视觉),及测试和组装(Opms公司,Sysmelec公司)对于 MEMS制造商来说,硅仍然是使用最多的微机械材料, 但也有公司使用石英 (Thal昣航空(本文共计2页)......[继续阅读本文]

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