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来源:《计测技术》2019年第01期  作者:芈梦;丁鹏翔;方传智;王超群;陈丽娟;黄强先;
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用于微球球度测量的双SPM测头对准系统

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压电微音叉与钨探针结合,构成SPM(扫描探针显微镜)的扫描测头。将双测头对称置于微球的赤道圆截面处,构成微球球度差动测量系统。通过视觉引导系统对双测头进行粗对准,用视频显微镜对微球和测头分别聚焦,拍摄多组照片,然后对对准图像进行小波分析边缘检测及多图像融合处理,再将图像处理结果反馈到系统进行精确对准。在实际实验中,获得了该对准方法下微球赤道圆截面的测量结果,并分析了对准误差对系统测量结果带来的影响。(本文共计4页)......[继续阅读本文]

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