来源:《中国集成电路》2014年第07期  作者:刘琛;闻永祥;顾悦吉;刘慧勇;邹光祎;
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电子辐照对槽栅IGBT器件参数影响分析

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功率器件IGBT由于其优异特性而广泛应用于电机、电焊机和功率开关等领域,是功率器件的主流产品之一。本文首先介绍了电子辐照技术在改善IGBT关断时间的应用,以及该技术在槽栅IGBT应用中出现的异常现象,并提出了改善此类异常现象的器件制造方法。(本文共计4页)......[继续阅读本文]

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