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来源:《科技风》2010年第24期  作者:徐贤;黄示;吉磊;
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压电薄膜传感器制备工艺的研究

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集成电路技术发展引领着微电子学电路集成进入了系统集成的时代。集成化芯片系统不仅要强大的运算分析能力、信号处理能力,还要有可以感知外界信号的微传感器,并将运算结果作用于外界环境中的微执行器。本文从微传感器的发展现状着手,分析了压电薄膜传感器的工作原理,并进一步介绍了PVDF压电薄膜传感器的制备工艺。(本文共计1页)......[继续阅读本文]

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