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光学面形质量信息的提取方法

曹天宁

随着微机应用的发展,除了用传统的光圈数N和局部光圈数△N以外,还进一步推广应用最大峰谷值E_(PV)、均方根值E_(rms)和最大偏差值E_(max)来表征光学表面面形质量。这些质量信息的提取、相互换算及与成象质量的联系是从事光学检测的工作者所关注的问题。最大峰谷值与成象质量的精确关系尚不清楚,但是它却是波面最大斜率的粗略测量,而波面最大斜率与几何光学扩散函数的大小有关,因而,也就是与斯特列尔(Strehl)所定义（共3页)

关键词

光学表面释

局部误差释

均方根值释

光圈数释

光学加工释

提取方法释

面形偏差释

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