声表面波的衰减与声表面波传感技术

戴恩光,冯冠平

首先研究声表面波器件沉积有机薄膜时引起的表现波衰减,从理论上分析了声表面波器件性能变化问题,然后研究了采用SAW谐振器对有机气体进行检测时,膜层引起的衰减对传感器性能的影响,目的是研究如何合理地利用表面波器件检测化学量 (共5页)
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