球冠形栅网曲率半径测量的实验研究

李庆祥,王云庆,薛实福,徐毓娴

本文采用精密机械——显微镜——CCD摄像机——图像处理——光栅测量——计算机控制的测量方案。采用图象处理的方法实现了光学非接触对准,通过对栅网上数点进行最小二乘拟合,准确地得到了球冠形栅网的曲率半径。本文介绍了该测量原理并对该测量方案进行了实验,实验结果表明,重复测量精度可达±5μ (共7页)
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