显微物镜数字剪切波面像差评价仪

白剑,程上彝,刘承,杨国光

本文介绍了所开发的显微物镜像质评价仪,它利用数字波面剪切干涉技术实现显微物镜轴上、轴外单色波像差的实时检测,提出了用有限元解析二维剪切波面的新算法并应用于该评价仪中,最后对实验所测得的数据进行了对比分析,其精度可达λ/20。 (共5页)
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